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【其它蒸发器】 硅片切片后清洗设备
发布单位:
北京华林嘉业科技有限公司
地址:北京通州宋庄
网址:
http://www.hualinjiaye.com
联系人:耿彪
电话:010-83270202
传真:010-89868658
Email:
hualinjaiye002@sina.com
详细内容:
硅片切片后清洗设备
硅片切片后清洗设备
型号:
CGB-XXXX—XX
系列,品牌:华林嘉业
—CGB
1.
设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。
2.
清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。
3.
关键件采用进口件,包括气动阀,
PFA
管道、全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。
4.
工艺过程全自动,机械手在槽间
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